安裝步驟如下：

取出離子源：停止設(shè)備真空，擰松真空艙旋鈕，用配套安裝桿將離子源從腔體中取出，放置在潔凈操作臺(tái)上。

卸下舊燈絲：斷開燈絲連接導(dǎo)線，擰松固定螺絲，取下已損耗的舊燈絲，清理安裝位的殘留污漬。

安裝新燈絲：將新燈絲精準(zhǔn)裝入離子源體的對(duì)應(yīng)卡槽，用螺絲將燈絲固定到離子源體上，確認(rèn)燈絲位置無偏移。

絕緣校驗(yàn)：安裝完成后，用萬用表檢測(cè)燈絲，確認(rèn)其沒有接地短路到離子源體上，避免通電后燒壞部件。

復(fù)位裝機(jī)：將離子源重新裝回儀器腔體，接好對(duì)應(yīng)線纜，完成后續(xù)的設(shè)備抽真空操作即可。

安裝時(shí)如何避免污染：

部件清潔預(yù)處理‌：

安裝前將燈絲、離子源相關(guān)部件，依次用超純水、甲醇、丙酮、正己烷分別超聲5分鐘，清洗后用無紡布包裹自然風(fēng)干，確保無溶劑殘留。

環(huán)境與流程管控‌：

在潔凈無塵的實(shí)驗(yàn)臺(tái)操作，安裝完成后先對(duì)燈絲進(jìn)行除氣操作，緩慢升高燈絲電流，靠高溫?fù)]發(fā)掉表面微量吸附的污染物，再正式啟用設(shè)備。

裝機(jī)后合規(guī)操作‌：

必須等真空系統(tǒng)抽至合格真空度后，再開啟燈絲，避免真空不佳時(shí)燈絲接觸大量空氣被氧化污染。